氧等离子清洗机是一种利用氧气作为工艺气体，通过产生等离子体来清洁和处理材料表面的设备，在低压真空或常压条件下，氧气被电离形成等离子体，与材料表面发生化学反应，去除污染物并改变表面性质。

　　-等离子清洗：主要用于去除有机污染物，如PCB焊盘上的有机溶剂和硅晶圆表面的光刻胶。

　　-等离子活化：增强材料的亲水性、粘接性等，适用于处理表面能低、极性差的材料。例如，氧等离子体能与材料表面反应形成羟基、羧基等活性物种。

　　-高效环保：相比传统化学清洗方法，氧等离子清洗不使用有害化学物质，更加环保。

　　氧等离子清洗机的保养方法建议：

　　-清洁内部：定期清洁内部结构，包括清洁喷嘴、电极等部件，避免污垢积聚影响清洗效果。

　　-清洁外部：定期清洁清洗机的外部表面，避免灰尘和污垢堆积，影响设备的外观和散热效果。

　　-检查电极：定期检查清洗机的电极，确保电极表面光滑无损伤，保证清洗效果和设备稳定运行。

　　-检查喷嘴：检查清洗机的喷嘴是否堵塞或磨损，及时更换或清洁喷嘴，保证清洗效果和喷射均匀性。

　　-润滑部件：定期对清洗机的活动部件进行润滑，保证运行顺畅，减少磨损。

　　-维护电路：定期检查清洗机的电路连接是否松动，确保电路稳定，避免故障发生。

　　-定期校准：对清洗机的参数进行定期校准，确保清洗机的清洗效果和稳定性。

　　-功能测试：定期对清洗机进行功能测试，包括清洗效果、清洗时间等参数，确保设备正常工作。

　　-注意安全：使用氧等离子清洗机时，注意安全操作规程，避免发生意外事故。

　　-定期检查清洗机的安全保护装置，确保在紧急情况下能够及时停机保护。

　　-如需长时间存放清洗机，应在干燥通风处存放，避免受潮或受到其他环境影响。

　　-长时间不用时，定期对清洗机进行检查和保养，确保设备在重新启用时能正常工作。