等离子清洗机中产生等离子体的装置是将两个电极放置在一个密封的容器中形成电场，用真空泵实现一定的真空度。随着气体变得越来越薄，分子间距和分子或离子的自由运动距离变得越来越长。在正负极电场的作用下，它们碰撞形成等离子体。这些离子具有足够高的活性和能量来破坏几乎所有的化学键，并在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。例如，氧等离子体具有高氧化性能，可以氧化光刻胶产生气体，从而达到清洗效果。腐蚀性气体的等离子体具有良好的各向异性，能够满足刻蚀的需要。

　　等离子清洗机优势：

　　一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；

　　二、使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；

　　三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；

　　四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；

　　五、使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；

　　六、需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺。