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旋涂机(Spin 150i)

    Spin 150i是德国SPS生产的一款单样品旋涂机,适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺,尤其理想用于溶胶-凝胶(sol-gel)实验中的薄膜制作。
  1. 详细信息

产品信息

品名:SPIN150i-NPP 单样品旋涂机

货号:41096      

产地:德国

品牌:SPINCOATING

制造商:SPS-EUROPE


功能特征

1.         可编程转速范围: 1 rpm 至 12,000 rpm,转速可设置范围广泛

2.         数字实时闭环控制伺服电机,带增速数字显示信号反馈,以避免转速过量,从而提升涂膜的品质。

3.         防静电PET透明衬套,杜绝工作仓室的交叉污染。

4.         热处理透明玻璃盖,带注射器固定架和氮气扩散器,旋涂过程中可使氮气/氩气进入到工作舱。

5.         注射器固定架使用户可随时以相同的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂。

6.         完全可控的工作舱环境对于稳定的处理效果来说至关重要。

7.         形体小巧,便携式台式机型,控制器可拆卸,适合在通风橱和手套箱内使用。

8.         基质直径: 多达160 mm 或 6" 直径或4" x 4" 基质

9.         结构:

-  防腐结构,带阿尔法晶体特性的天然聚丙烯(NPP-H)材质,为整个系统提供了更好的强度和韧性。

-  优质无缝加工表面,传动工程塑料

-  适合用在通风橱和手套箱内

-  最大工作舱直径: 202 mm

-  尺寸 (台式机): 27.5 x 45.0 x 25.0 cm (W x D x H)

10.     数字电机控制:

-  数字式实时闭环控制伺服电机,带数字式增速信号反馈。

-  高精确性旋转速度 (± 0.1 rpm),转速设置范围广泛 (1 - 12,000 rpm),这是传统PID电机控制器无法实现的。

-  用户可设置转速参数范围广,适用于工作/实验环境,高速运转时超静音,更稳定,振动更少。

11.     透明盖:

-  热处理透明玻璃盖,带注射器固定架和氮气扩散器,旋涂过程中可使氮气/氩气进入到工作舱。

-  注射器固定架使用户可随时以相同的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂。

-  完全可控的工作舱环境对于稳定的处理效果来说至关重要。

-  坚固的弹簧盖,可自动将盖子固定在理想位置,易操作,方便基质取出,确保盖子上的残余化学物质下流至排入系统中。

-  带弹簧坚固盖子,可以自动将盖子固定在理想位置,便于操作及基质取出,又能确保盖子上的化学残留回流入排入系统中。

-  透明盖子,视野清晰。

-  手动注入化学物质。

12.     安全互锁装置:

-  工作过程中工作舱盖始终锁住,确保所有用户安全,只有点击屏幕上的开盖键才能打开盖子。

-  盖子打开时,电磁盖锁装置自动停止旋转。如果真空不足或没有真空的情况下,真空互锁装置(可编程)可以停止旋转。

-  避免操作者伤害,防止基质泄漏。

-  国际CE认证的电子安全性,带过载保护功能。

13.     干式继电器:

-  三个(3)可编程继思器输入,可以用于操作全自动注入系统,外部阀门或其它配件。

-  基质旋涂卡盘可选择范围广泛,多种尺寸,直径最大可达160 mm。

-  氮气扩散器,旋涂过程中可以往工作舱内注入氮气

14.     可拆卸式控制器

-  可拆卸式控制器,全尺寸大屏,适合带手套操作,IP52,耐化学试剂腐蚀。

-  彩色触屏,便于速度、加速和时间编程

-  无限量程序存储空间,可存储旋涂多步骤工作协议,每步包括下述参数:

1)        时间: 0.1-99999 秒/步

2)        速度: 0-12,000 rpm

3)        转速方向: 顺时针, 逆时针, Puddling

4)        加速/减速: 1 - 30,000 rpm/秒 (每步可选)

5)        真空 开/关

6)        3种可编程干触点:如注入单元自动控制,氮气扩散器,等等 。

7)        USB端口将于上传和下载旋涂协议和软件

8)        旋涂协议密保功能,易于存储和管理


功能部件

1.        标准真空卡盘

-        适用于基质直径 2"-6"

-        适用于基质直径 2" x 2"-4" x 4"

-        坚固的天然聚丙烯(NPP)材质,优质磨光加工表面工艺

2.        碎片/小样品卡盘适配器

-        适用于基质直径 > 10 mm 碎片状样品

-        坚固的天然聚丙烯(NPP)材质,优质磨光加工表面工艺

3.        PET透明衬套

-        免费提供 (1)套

-        衬套模压成型良好,匹配度好(碗和盖),便于用户清洁和维护系统。

-        防静电 (108 - 1010 ohm),防止工作舱工作过程中产生静电。

-        避免工作舱内多种应用可能产生的交叉污染

-        多用户旋涂应用的重要和理想选择。

可选配件

1.        定制的非真空嵌入式卡盘适配器 

-        材质: PP

-        方形样品

* 下订单时必须提供准确的样品尺寸(长x宽)*

2.        真空式片状样品适配器

-        材质: NPP

-        真空区直径: 2.5 mm

-        外直径: 50 mm

-        包括真空卡盘

*适用于3x3mm 至 15x15mm 基质

3.        居中/对齐工具

-        材质: NPP

-        用于圆形基质,尺寸自2" 至 6" 直径

-        用于方形基质尺寸多达 4"x4"

4.        高流量真空泵

-        无油,活塞

-        抽速: 119 L/升 (7 m3/小时)

-        极限真空, 80 mbar abs

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