产品简介

UNIXX HTp20型热板是一款手动桌面型烘焙系统，采用手动PID控制器和定时器开关可确保高的温度控制精度。用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。

产品特色

÷ 加热板模块（最高可达 300°C）

÷ 气动驱动支撑pin升降

÷ 支撑pin材料：不锈钢，尖端采用 PEEK （最高 250°C）

÷ 热板通过真空固定晶圆

÷ 集成排烟装置

÷ 热板盖手动控制

÷ 集成1x PID 控制器，用于在高测量时进行温度控制

÷ 集成1x 定时器开关

技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 温度区间: 最大可达 300°C*, 以 1°C 步进可调

÷ 温度精度: 100°C 时 < ±1°C

÷ 提升销（一套）: Ø50 mm (Ø2”) 最大可达 Ø200 mm(Ø8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 热板表面: 由硬质阳极氧化铝制成

÷ 加热板盖: 由微抛光不锈钢制成

÷ 控制器单元: 1x PID控制器, 1x 时间开关

÷ Pin顶部 采用PEEK 材料最高温度 250°C

可选项

÷ 支撑pin材料

÷ 边缘支撑pin

÷ N2吹扫

÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆）

÷ 烘焙距离可调模组

÷ 真空泵