产品简介

BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。

产品特色

÷ 桌面版本的紧凑型设计

÷ 手动装载/卸载

÷ 衬底最大可达Ø200 mm (Ø8 inch) 或150x150 mm (6 x 6 inch)

÷ 软件提供用户友好的操作

÷ 直驱旋涂电机

÷ 全轴电机驱动且完全可编程

÷ 带安全中断传感器的透明盖

÷ 可更换并易于拆卸的工艺腔和防溅环，方便清洁。

÷ 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升废液瓶

技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达Ø200 mm (Ø8 inch) 或150 x 15 mm (6x6inch)

÷ 电机转速: 最大10.000rpm，步长1rpm

÷ 电机加速: 最大4.000rpm/s

÷ 步进时间: 1至999.9s，步长为0.1s

÷  工作腔材料: PP 

÷  系统架构材料: PP 

÷  液体线路：

    3线: 2x24 V/ 最大1 Amp (每条)/触发点0.1秒-∞

    5线: 6x24 V/ 最大1 Amp (每条)/触发点0.1秒-∞

选项

÷自动液体输送臂     ÷液体罐        ÷ 防溅环

÷ 废液池           ÷ DI水冲洗     ÷ N2吹扫

÷热板           ÷不同类型的夹具   ÷ 中心定位模块