CIF实验室型等离子清洗机CPC-F系列

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应用领域：

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

产品特点

◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。

◆ PLC 控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

◆ 用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计 (CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制准确。

◆ 气体返填吹扫，HEPA 高效过滤，防止二次污染。

◆ 316 不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

◆ 采用 60 度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。

◆ 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。

◆ 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。

◆ 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。

◆ 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。

技术参数

CIF等离子清洗机