产品特点

◆  7 寸彩色触摸屏互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。

◆  PLC 工控机控制整个去胶过程，手动、自动两种工作模式。

◆  石英真空舱，全真空管路系统采用 316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

◆  可选用石英舟，更适合晶元硅片去胶应用。

◆  采用花洒式多孔道进气方式，改变单孔进气不均匀问题。

◆  采用防腐数字流量计，实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。 可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体。

◆  HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

◆  处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。

◆  样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

◆  安全保护，舱门打开，自动关闭电源，机器运行、停止提示。

 技术参数